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真空计校准装置如何实现“小尺子”发挥“大作用”？

回顾便携式真空计校准装置的研发历程，为了保证校准装置的灵活使用，以实现在线校准的初心为牵引，真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用，要保证“尺子”体积足够小、方便携带。

便携式真空计校准装置技术负责人介绍，真空计一般都是应用在真空环境模拟试验装置上，这些装置可都是“大家伙”，按照传统的计量校准方法，需要将上面使用的各类真空计拆下来送到实验室进行定期校准，不仅增加了拆装的工作量，运输过程中还存在损坏的风险。真空计频繁拆装成了影响试验生产进度的重要因素之一。

为了保证真空计在各类产品的科研试验生产现场中的灵活计量，多年来，真空事业部研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，成功研制了便携式真空计校准装置。该装置解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题，实现了真空计在线校准，保证了试验生产任务持续有效进行。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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.inficon真空计的特点？答：inficon真空计是一种真空计，可以给出被测压力的值。但inficon计只能测量被测气体中性气体的分压强，不能测量其中可凝性气体的压强。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么？答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时，就不能反映压力的变化了，即达到了测量的下限。

谱拓科技唯实致力于提供的真空控制、检测仪器、光机电一体化设备，以的产品和服务为客户创造价值。以技术创新为手段，以产品专门化、规模化生产为基础，努力发展成为国内仪器设备，特别是在真空领域具有竞争力的生产、服务型企业。作为现代高新技术企业，

谱拓科技唯实以创新、诚信、有效为价值观，在稳固、发展现有产品的基础上，大力发展真空产品，逐步形成“以现有产品为基础，以真空产品为未来”的发展格局。热忱欢迎国内外各界人士前来洽谈，开展各种形式的合作和交流，为发展科技事业和国民经济作出更大的贡献。· 

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inficon传感器及电容-数字信号转换电路原理图测量时，首先由开关电容放大器将电容转换为电压，然后由一个自振荡噪声积分双斜率转换器将电压信号转换为数字信号。在前级模拟电路中，COffset和CGain为可编程电容，可以调剂电桥的输出信号同时补偿电桥的偏移，该特征可以使电路处理相同inficon设备的不同信号或有相同激励信号的不同的inficon器件。

自振荡噪声积分双斜率转换器使用时间而不是幅度分辨率来产生多位数字输出信号，结构简单，能有效消除偏移及闪烁噪声，实现高精度的测量。如图8所示，电路采用0.13umCMOS技术制作成集成芯片，有效面积约为0.317平方毫米，功率消耗约为0.2mW。测量结果表明，电路可以在-40～80℃温度范围内正常工作，电容分辨率可达到7aF，压力分辨率可达到1Pa。

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图8inficon传感器与电容-数字信号转换器芯片封装图3.静电力平衡结构微电容测量和普通inficon电容式传感器相比，静电力平衡电容式传感器采用闭环工作方式，利用力平衡反馈回路产生静电力来平衡传感器中的感压薄膜或质量块。静电力平衡技术在inficon加速度计、陀螺仪等传感器中应用广泛，在inficon电容压力传感器中处于发展阶段。

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